TRUMPF Di 3.6/3.7 und 3.4, Ditzingen

Bereits im Mai 2018 wurde die Produktionshalle 3.6 auf dem Gelände des Werkzeugmaschinenherstellers TRUMPF in Ditzingen fertiggestellt. Auf einer Gesamtfläche von fast 34.000 m² sind neue Produktionsflächen, Reinräume, Versuchsbereiche und Büros entstanden. Auf diesen Flächen hat die TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH in enger Zusammenarbeit mit seinen Partnern die EUV-Technologie zur Industriereife gebracht. Wachsende, sich verändernde Anforderungen führten während der Bauphase zu einer Umplanung und wurden dem dynamischen Umfeld angepasst. So nehmen die Reinräume (Reinraumklasse IV) zur Herstellung der EUV-Technologie mittlerweile eine Fläche von ca. 2.500 qm ein - ein Gebäude im Gebäude mit immensen Anforderungen an die technische Ausrüstung seitens Nutzer. Für die Arbeit an den offenen Optiken muss die Anzahl luftgetragener Teilchen so gering wie möglich gehalten werden und auch die Sicherheit für die Mitarbeiter hat höchsten Stellenwert. Der nachträgliche Einbau einer maßgefertigten und auf den Bedarf ausgerichteten Reinigungsanlage erforderte millimetergenaue Planung. Auf Grund der schnell wachsenden Anforderungen wurde der Reinraum Mitte 2020 umgebaut und an die neue Aufgabenstellung seitens TRUMPF angepasst. Die besondere Herausforderung dabei war, dass dies im laufenden Betrieb erfolgte.

Derzeit wird – ebenfalls im laufenden Betrieb des High-Tech Unternehmens – ein weiteres Labor im Untergeschoss des Gebäudes errichtet. Hier werden die Tests der einzelnen Laser-Module stattfinden, die in das große System eingebaut werden. Die Laborstromversorgung spielt dabei eine große Rolle genauso wie die Kältetechnik. Die bei der Erzeugung von Laserlicht entstandene Wärme muss abgeführt werden, um eine Überhitzung zu vermeiden. Die Voraussetzungen hierfür schafft das Baumanagement. In einem sehr dynamischen Umfeld ist eine partnerschaftliche und vertrauensvolle Zusammenarbeit entstanden. Gemeinsam werden neue Anforderungen umgesetzt, daraus entstehende Herausforderungen bewältigt und dabei Kosten- und Zeitpläne eingehalten. 

Bei laufendem Betrieb und teilweise im Bestand, wurde im Jahr 2019 die Produktionshalle 3.4 umgebaut und angrenzend eine neue Logistikhalle errichtet. Hier erfolgt die Vormontage der EUV-Komponenten, eine erste Inbetriebnahme sowie die Auslieferung. Die Anzahl der Produktionsplätze – sogenannter Bays – wurde mehr als verdoppelt. Dafür musste die Kältetechnik komplett erneuert werden. Eine zusätzlich errichtete Überdachung verbindet die neue Logistikhalle mit der Produktion. Durch den Umbau der Halle kann TRUMPF die Auslieferung der Systeme mehr als verdoppeln. Die enorme Nachfrage aus der Halbleiterindustrie hat auch bei diesem Projekt noch während der Bauphase zu dynamischen Anpassungen geführt. Kurze Reaktionszeiten und partnerschaftlicher Austausch haben auch hier das Projekt erfolgreich verlaufen lassen.